発光素子

摘要

【課題】ＩＴＯなどの透明電極をスパッタリング法によって成膜する際のダメージが抑制された素子構造を提供する。【解決手段】蒸着法で形成されたモリブデン酸化物を含む層を、スパッタリング法により形成されるＩＴＯなどの透明電極に接して下側に設ける。スパッタリング法によるダメージをモリブデン酸化物によって抑制できる。【選択図】なし