新規なエッチング組成物

摘要

【課題】隣接する材料及び構造にほとんどまたは全く損傷を与えることなく、選ばれた金属を選択的にエッチングするのに適したエッチング組成物を提供する。【解決手段】少なくとも一つのスルホン酸、ハロゲン化物アニオンを含む少なくとも一つの化合物、前記ハロゲン化物はクロリドまたはブロミドであり、ニトラートまたはニトロシルイオンを含む少なくとも一つの化合物、及び水、を含むエッチング組成物。前記少なくとも一つのスルホン酸は前記組成物の約２５重量％〜約９５重量％である。前記ハロゲン化物アニオンはクロリドまたはブロミドであり、前記組成物の約０．０１重量％〜約０．５重量％である。前記ニトラートまたはニトロシルイオンは前記組成物の約０．１重量％〜約２０重量％である。前記水は、前記組成物の少なくとも約３重量％である。【選択図】なし