| 摘要 |
스캔 방향으로 확대 또는 축소된 노광을 수행할 수 있는 마스크리스 노광 장치 및 그 제어방법을 개시한다. 마스크리스 노광장치는 광을 제공하는 광원부와, 광을 기판에 선택적으로 전달하는 공간광변조부와, 공간광변조부의 작동 시점을 조정하는 구동펄스신호를 생성하는 구동펄스생성부와, 기판의 스캔 방향의 길이를 측정하는 기판형태측정부와, 기판의 스캔 방향의 길이에 따라 기판에 확대 또는 축소된 노광을 수행하도록 구동펄스신호가 생성되는 간격을 보정하는 구동펄스보정부를 포함한다. |
