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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung (100a, 200a, 400a) Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen, von denen zumindest zwei benachbarte Transportrollen (102) in einem Abstand voneinander angeordnet sind und durch deren äußeren Umfang eine Transportfläche (102t) definieren, zum Transportieren eines Substrats entlang der Transportfläche (102t) in eine Transportrichtung; ein Bodenelement (104), welches sich zumindest zwischen den zwei Transportrollen (102) flächig entlang der Transportfläche (102t) erstreckt, und welches in einem ersten Abstand (104d) zu der Transportfläche (102t) unterhalb dieser angeordnet ist, so dass zwischen einem transportierten Substrat und dem Bodenelement (104) ein Spalt gebildet ist; ein Wandelement (106) zum Abschirmen des Spalts, welches quer zur Transportrichtung seitlich neben dem Bodenelement angeordnet ist, und welches sich zumindest zwischen den zumindest zwei benachbarten Transportrollen (102) entlang der Transportrichtung und derart dicht an die Transportfläche (102t) heran erstreckt, dass das Wandelement (106) einen zweiten Abstand (106d) zu der Transportfläche (102t) aufweist, welcher kleiner ist als der erste Abstand (104d). |
