ガス精製装置

摘要

ＰＳＡ装置を用いたガス精製装置からの精製対象ガス回収率を改善し、動力効率よく純度と回収率の両立を図るために、吸着工程と脱着工程とを交互に行う圧力揺動運転可能に接続したガス精製装置であって、雑ガス排出路Ｌ３に、精製対象ガスを透過せず、雑ガスを透過する分離膜Ｍ１を有するとともに、吸着塔Ａ１〜Ａ４の排気圧で精製対象ガスと雑ガスとを分離する膜分離装置Ｍを設け、分離膜Ｍ１で精製対象ガス濃度の高められた再生ガスを原料ガス供給路Ｌ１に返送する再生ガス返送路Ｌ５を設けた。