| 摘要 |
【課題】直動案内装置をステージの移動方向の案内に採用して剛性を保つとともに、製作コストを低減可能な二軸位置決めステージ装置を提供する。【解決手段】二軸位置決めステージ装置１０は、固定枠１と、固定枠１の枠内にＸ軸用直動案内装置４を介してＸ軸方向にスライド移動可能に組み付けられる移動枠２と、移動枠２の枠内にＸ軸用直動案内装置４と同一の高さに配置されたＹ軸用直動案内装置７を介してＹ軸方向にスライド移動可能に組み付けられるステージ３と、固定枠１に対して移動枠２をＸ軸方向に駆動するＸ軸用駆動装置５と、移動枠２に対してステージ３をＹ軸方向に駆動するＹ軸用駆動装置８とを備える。【選択図】図１ |
