| 摘要 |
【課題】 電位検出手段を真空室内に設置した表面電位測定装置のダメージを自動的に回避して、測定対象の表面電位を正確に検出することができる表面電位測定装置を提供することである。【解決手段】 電位検出手段３と電源６との間に、真空室の真空度測定信号に応じて開閉するスイッチング手段７を設けるとともに、スイッチング手段７には、真空放電しやすい真空度を基にしたスイッチ解放領域を設定し、真空度測定信号が、スイッチ解放領域に含まれているとき、電位検出手段と電源との接続を遮断し、真空度測定信号が、上記スイッチ解放領域に含まれていないとき、電位検出手段３と電源６との接続を維持する。【選択図】 図１ |
