摘要 |
【課題】光を照射して行われる物体の測定を、より効果的に行う。【解決手段】光走査装置(1)は、出射光(4)を照射する照射ユニット(30,31,40,41)と、照射ユニットから照射される出射光の向きを、予め定められた測定範囲(3)にわたって変化させることで、測定領域に向けて出射光を照射する走査ユニット(10)と、外部で反射した出射光である反射光(5)に基づき、測定領域に存在する物体の測定を行う測定ユニット(50,60,70,80)と、を備え、走査ユニットは、測定範囲の部分については、他の部分に比べ、より高い頻度で出射光を照射する。【選択図】図3 |