发明名称 スパッタ装置用電源装置
摘要 【課題】着火動作開始時には出力電圧が出力端の並列抵抗の影響を受けず、着火後のプラズマ放電時には負荷電圧に左右されずに着火用電源の出力電流を略一定に保つ。【解決手段】主電源1の出力端と着火用電源2の出力端との間に、限流用の抵抗の代わりに電力用MOSFET71を利用した電流制限回路7を設ける。着火動作開始時に電力用MOSFET70の電圧Vdsはゼロに近く抵抗71の電圧降下も無視できるので、着火用電源2の出力電圧Vps2は出力電圧Voと略等しくその出力電圧Vps2の増嵩は不要である。着火後のグロー放電移行時には電流制御用電圧信号CNTの電圧で定まる所定の電流値で定電流制御されるので、負荷103の抵抗Roの影響を受けずに着火用電源2の出力電流Ips2は一定となる。従来、限流抵抗で消費されていた電力は電力用MOSFETでの消費に移り、消費電力は約1/2に低減される。【選択図】図1
申请公布号 JP2017014557(A) 申请公布日期 2017.01.19
申请号 JP20150130540 申请日期 2015.06.30
申请人 京都電機器株式会社 发明人 木村 智;岡本 景太;辻本 正志;藤吉 敏一;伏谷 周一
分类号 C23C14/34;H05H1/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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