磁気粘性流体中の磁気粒子の密度を測定し且つ制御する方法及び装置

摘要

【課題】基板の磁気支援式研磨仕上げ及びポリシングシステムにおける磁気粘性流体中の磁気粒子の密度を測定し、且つ制御する方法及び装置を提供する。【解決手段】ワイヤーコイル１０と、励起されたとき、縁取り界１６を含む磁束界を形成する交流電圧発生器１２と、を備える。縁取り界１６に磁気粘性流体を通し、回路のインピーダンスの変化から磁気粒子の密度を測定する。ワイヤーコイル１０と同一の基準コイルがワイヤーコイルと接続され、インピーダンス差信号で計算した量の補給流体を磁気粘性流体に追加する。【選択図】図１