Method and apparatus of operating a scanning probe microscope

摘要

AFM 이미징(피크 힘 테핑(PFT) 모드)의 개선된 모드 300은 모든 현존하는 AFM 작동 모드들에 의하여 성취될 수 있는 스캔 속도를 유지하면서, 팁-샘플 상호작용 힘을 감소시키기 위하여 가변적인 피드백으로서 힘을 사용한다. 샘플 이미징 및 기계적 특성 매핑은 개선된 해상도 및 높은 샘플 작업량에 의하여 이루어지며, 가스, 유체 및 진공을 포함하는 가변적인 환경에서 작업 가능한 모드를 제공한다.