Mehrachsiger Drehratensensor mit geteiltem zentralem Rotor

摘要

Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit einer gegenüber dem Substrat im Wesentlichen parallel zu einer Antriebsrichtung im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene beweglichen ersten Antriebsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Antriebsstruktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung beweglichen zweiten Antriebsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der ersten Antriebsstruktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung antreibbaren ersten Detektionsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der zweiten Antriebsstruktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung antreibbaren zweiten Detektionsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der ersten Antriebsstruktur und von der zweiten Antriebsstruktur im Sinne eines Schwenkens um eine im Wesentlichen senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufende erste Achse antreibbaren dritten Detektionsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der ersten Antriebsstruktur und von der zweiten Antriebsstruktur im Sinne eines Schwenkens um eine im Wesentlichen senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufende zweite Achse anttreibbaren vierten Detektionsstruktur vorgeschlagen.