摘要 |
【課題】ロータリ圧縮機のベーン先端部の皮膜層が剥離し難く、コストアップを抑えたロータリ圧縮機を得ること。【解決手段】ロータリ圧縮機において、ベーン127S、127Tの母材は、クロムを含有する鋼材で形成されるとともに、環状ピストン125S、125Tとの摺動面127SS,127TSに、前記母材の表面から順に、第1層目としてクロムの単一皮膜層127SD1,127TD1が形成され、第2層目としてクロムと炭素の濃度傾斜を有する中間皮膜層127SD2,127TD2が形成され、第3層目としてダイヤモンド状炭素皮膜層127SD3,127TD3が形成され、前記中間皮膜層127SD2,127TD2は、第1層側で炭素の濃度よりクロムの濃度が高く、第3層側でクロムの濃度より炭素の濃度が高い。【選択図】図3 |