| 摘要 |
【課題】流路側ポートの開口部の位置が異なる各種の流体処理装置への弁本体の互換適合性が高められた弁装置を提供する。【解決手段】弁装置１は、弁室２０を区画するとともに弁室２０と第１流路側ポート１１１と連通させるための第１弁側ポート２１が形成された弁本体２と、第１弁側ポート２１を開閉する弁体３と、弁本体２と流体処理装置１００との間に装着されるガスケット４とを含む。ガスケット４は、第１流路側ポート１１１と第１弁側ポート２１とを連通させる第１貫通孔４１を有する。第１流路側ポート１１１の開口部１１１ａと、第１弁側ポート２１の開口部２１ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、互いに異なる位置に設けられている。第１貫通孔４１は、方向Ｚから視て、開口部１１１ａ及び開口部２１ａを包摂するとともに、開口部１１１ａ及び開口部２１ａの外側領域に拡張した孔輪郭４４を有する。【選択図】 図１ |
