エッチング装置

摘要

【課題】揺動機構を用いることなく基板上のエッチング液およびスラッジの滞留を除去でき、さらに装置不良の発生を抑えることが可能なエッチング装置を提供する。【解決手段】エッチング装置１０は、搬送手段２およびエッチング噴射部１４を備え、エッチング噴射部１４は複数のノズル１６が取り付けられた第１の配管２２２と第２の配管２２４および噴射制御部１８を備える。噴射制御部１８にて第１の配管２２２と第２の配管２２４に取り付けられたノズルからの噴射量を調節する。【選択図】図２