| 摘要 |
【課題】剛性が高く、耐久性の高い圧電素子、その製造方法及び圧電素子用の積層構造体を提供する。【解決手段】第１のシリコン基板11の一面に第１の電極層12、第１の圧電体膜14及び第１の対向電極層16をこの順に積層して第１の構造体10を、第２のシリコン基板21の一面に第２の電極層22、第２の圧電体膜24及び第２の対向電極層26をこの順に積層して第２の構造体20を作製する。振動板基材の一方の面に第１の対向電極層16を対向させて、振動板基材の一方の面に第１の構造体10を貼り合わせ、第１の構造体10と貼り合わせた振動板基材の他方の面を研磨又はエッチングして振動板31に加工し、振動板31の露出面に第２の対向電極層26を対向させて、第２の構造体20を貼り合わせて積層構造体２を作製し、第１のシリコン基板11及び第２のシリコン基板21の少なくとも一部を除去して圧電素子を得る。【選択図】図４ |
