| 摘要 |
【課題】ＣＤＵ性能、ＬＷＲ性能、解像性及び膜収縮抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法の提供。【解決手段】式（１）で表される基を含む第１構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生剤を含有し、上記感放射線性酸発生剤が、２以上の−ＳＯ２−を有する酸を発生する感放射線性樹脂組成物。（式（１）中、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立して、水素原子若しくは炭素数１〜２０の１価の有機基であるか、又はこれらの基が互いに合わせられ環員数３〜２０の環構造を表す。Ｒ３は、ヒドロキシ基又は炭素数１〜２０の１価の有機基、ｎは、０〜１３の整数、ｐ及びｑは、それぞれ独立して、１〜３の整数である。）【選択図】なし |
