| 摘要 |
[Aufgaben] Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein piezoelektrisches Oxid-Einkristallsubstrat bereitzustellen, das in einem akustischem Oberflächenwellengerät und dergleichen verwendet wird, welches sich kaum einer Wölbung unterzieht, und nicht einfach bricht oder verkratzt wird, und eine gute Temperaturcharakteristik aufweist. [Mittel zur Lösung] Die vorliegende Erfindung stellt ein piezoelektrisches Oxid-Einkristallsubstrat bereit, welches ein Konzentrationsprofil aufweist, so dass sich die Li-Konzentration zwischen der Substratoberfläche und einem Mittelteil des Substrats unterscheidet; insbesondere ist das Konzentrationsprofil so, dass, in der Richtung der Dicke des Substrats, die Li-Konzentration umso höher wird, je näher der Messpunkt zu der Substratoberfläche ist, und die Li-Konzentration umso niedriger wird, je näher der Messpunkt zu dem Mittelteil in der Dickenrichtung des Substrats ist. Auch ist in dem piezoelektrischen Oxid-Einkristallsubstrat der vorliegenden Erfindung der Bereich von der Substratoberfläche zu einem Punkt, wo die Li-Konzentration beginnt sich zu verringern, oder zu einem Punkt, wo die Li-Konzentration aufhört sich zu erhöhen, von einer pseudostöchiometrischen Zusammensetzung, und der Mittelteil in der Dickenrichtung des Substrats ist von einer annähernd kongruenten Zusammensetzung. |
