发明名称 |
光反応性液体組成物及び構造体の作製方法 |
摘要 |
構造体を作製する方法は、光反応性液体組成物を基材上に配置することと、この光反応性液体組成物の一部を、2光子増感剤の2光子励起を介した重合、及び光反応性液体組成物の一部の重合を起こすのに十分な強度及び波長のレーザー光に露光させることにより、露光した組成物を提供することと、この露光した組成物を現像して、構造体を提供することと、を含む。この液体組成物は、少なくとも1つのカチオン性重合性ポリエポキシドと、フリーラジカル重合性基を含む少なくとも1つの化合物と、有効量の2光子光開始剤系と、を含み、ここにおいて、構成成分(a)と構成成分(b)との重量比は、25:75〜75:25(端の値を含む)の範囲である。この2光子光開始剤系は、2光子増感剤及び芳香族オニウム塩を含む。この光反応性液体組成物は、約1重量パーセント未満の有機溶媒を含み得る。 |
申请公布号 |
JP2017502331(A) |
申请公布日期 |
2017.01.19 |
申请号 |
JP20160536814 |
申请日期 |
2014.12.01 |
申请人 |
スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー |
发明人 |
ズー−チェン リ;ロバート ジェイ.デボウ;ブライアン ケー.ネルソン;ブライアン ジェイ.ゲイツ |
分类号 |
G03F7/038;B81C1/00;C08F2/50;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/038 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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