| 摘要 |
【課題】塗布範囲（塗布領域）と非塗布範囲（非塗布領域）との境界付近における膜厚ムラを解消する塗布装置を提供する。【解決手段】塗布領域のノズル配列方向における塗布開始位置から塗布終了位置までの１回の相対移動において、被塗布部材の塗布領域に対向するノズル数が漸次増加する塗布開始位置の近傍の領域（塗布境界近傍領域）では、液滴を吐出するノズルの数が増減しながら増加する増加基調になるように吐出を制御し、被塗布部材の塗布領域に対向するノズル数が漸次減少する塗布開始位置の近傍の領域（塗布境界近傍領域）では、液滴を吐出するノズルの数が増減しながら増加する減少基調になるように吐出を制御する。【選択図】図９ |
