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发明名称 ガスの供給方法
摘要 【課題】目標温度範囲内でガスを供給する方法を与える。【解決手段】複数の蓄熱器とガスを熱交換して、ガスを冷却する。【選択図】図１
申请公布号 JP2017015262(A) 申请公布日期 2017.01.19
申请号 JP20160188145 申请日期 2016.09.27
申请人 エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドＡＩＲ ＰＲＯＤＵＣＴＳ ＡＮＤ ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ 发明人 ジョセフ ペリー コーエン;デイビッド ジョン ファリーズ;ニコラス フランシス ミティカ
分类号 F17C5/06;F25D15/00 主分类号 F17C5/06
代理机构 代理人
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