发明名称 センサ
摘要 【課題】感度を向上できるセンサを提供する。【解決手段】実施形態によれば、センサは、構造体と、第1可撓部と、第1検出部と、を含む。前記構造体は、第1部分と、前記第1部分と繋がる第2部分と、を含む。前記第1部分は、前記第1部分と前記第2部分とを結ぶ方向と交差する第1方向に沿って変位する。前記第2部分は前記第1部分の前記変位に応じて前記第1方向と交差する第2方向に沿って変位する、前記第1可撓部は、前記第2部分の前記変位に応じて前記第2方向に沿って変形する。前記第1検出部は、前記第1可撓部の前記変形を検出する。【選択図】図1
申请公布号 JP2017015525(A) 申请公布日期 2017.01.19
申请号 JP20150131631 申请日期 2015.06.30
申请人 株式会社東芝 发明人 大森 隆広;渡部 一雄;西村 修;笠原 章裕
分类号 G01P15/08;B81B3/00;G01P15/09;G01P15/12;G01P15/125;H01L29/84 主分类号 G01P15/08
代理机构 代理人
主权项
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