| 摘要 |
【課題】実際の基板の状態に即した基板の基準の高さを得ることが可能な基板高さ解析装置を提供する。【解決手段】厚み方向における設計高さが基準設計高さである基板ＢＤの領域である基準領域と、設計高さが基準設計高さでない基板の領域である非基準領域とを有する基板の高さを解析する基板高さ解析装置１であって、基板の高さの計測値を示す計測高さ情報を取得する計測高さ情報取得手段２１ａと、計測高さ情報から、基準領域の高さを示す基準高さ情報を抽出する抽出手段２１ｂと、基準高さ情報に基づいて、設計高さが基準設計高さであると仮定した場合の非基準領域の高さを推定する推定手段２１ｃと、を備える。【選択図】図１ |
