| 摘要 |
【課題】被膜からのパーティクルの発生や剥離を抑制し、使用済部品の再生処理で被膜を剥離する際に使用される処理で基材にダメージを与えにくく、更にドライエッチング等に使用されるガス成分を取り込み難い被膜の提供及び被膜の製造方法の提供。【解決手段】内部がプラズマ、腐食性または高温度の雰囲気にさらされる装置に使用される部品の表面の少なくとも一部に形成される、平均粒径０．０１〜１０μｍのセラミックスの微小粒子４同士が結合して多結晶粒子２を構成し、多結晶粒子２が堆積して形成されるセラミックス被膜であり、前記セラミックス被膜の表面の観察領域の面積に対する観察領域の実際の表面の面積との比面積率が４００％以下である耐プラズマ性、耐食性、耐熱性、耐酸化性を有するセラミックス被膜及びその製造方法。【選択図】図１ |
