| 摘要 |
【課題】 深紫外域を含む紫外域のある程度広い波長域において予定された通りの優れた偏光性能を安定して発揮するグリッド偏光素子を提供する。【解決手段】 透明基板１上の縞状のグリッド２を形成する各線状部３は、透明基板１に近い側の第一の層３１と、透明基板１から遠い側の第二の層３２とで形成され、第一の層３１はスパッタリングにより形成された貴金属の層であり、第二の層３２は原子層堆積法により形成された金属（貴金属を除く）又はシリコンの酸化物、窒化物又は酸窒化物の層である。第一の層３１は、貴金属の膜をエッチングすることで縞状とされた層であり、第二の層３２はエッチングの際にマスクとして使用された層であってエッチング後も残留した層である。【選択図】 図１ |
