マイクロリソグラフィのための投影露光ツールを作動させる方法

摘要

【課題】マイクロリソグラフィのための投影露光ツール（１０）を作動させる方法を提供すること。【解決手段】投影露光ツール（１０）は、電磁放射線（１３，１３ａ，１３ｂ）を用いてマスク（２０）上の物体構造を像平面（２８）に結像するために、結像中に、電磁放射線（１３ｂ）が、投影対物系（２６）の光学特性の変化を引き起こす投影対物系（２６）を有する。本方法は、結像されるマスク（２０）上の物体構造のレイアウトを与え、物体構造をそれらの構造タイプに従って分類する段階と、物体構造のこの分類に基づいて、結像工程中にもたらされる投影対物系（２６）の光学特性の変化を計算する段階と、物体構造を像平面（２８）に結像するために投影露光ツール（１０）を使用し、結像工程中に電磁放射線（１３，１３ａ，１３ｂ）によってもたらされる投影対物系（２６）の光学特性の変化を少なくとも部分的に補償するために、投影露光ツール（１０）の結像挙動が、光学特性の計算された変化に基づいて調節される段階とを含む。【選択図】図１