検査方法、検査装置、処理装置、プログラム及び記録媒体

摘要

【課題】ワークの検査を高速化可能な検査方法を提供する。【解決手段】ロボットを経路データに従って動作させて、ワークと撮像装置との相対的な位置を変化させるＳ３２。ワークと撮像装置との相対的な位置を変化させながら撮像装置にワークを撮像させて複数の画像を取得するＳ３３。撮像装置にワークを撮像させた時のワークと撮像装置との相対的な位置を求めるＳ３４。各画像からワークの欠陥を検出してＳ３６、計算したワークと撮像装置との相対的な位置に基づき、ワークにある欠陥の位置を特定するＳ３８。【選択図】図５