| 摘要 |
【課題】ＮｉＳｉに相当する特性を発揮することができるシリサイドの構成を明らかにし、かかるシリサイドを形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】本発明は、ＰｔＨｆ合金からなる白金合金スパッタリングターゲットであって、ＰｔＨｆ合金は、Ｈｆ含有量が１０質量％以上９０質量％以下である白金合金スパッタリングターゲットである。本発明では、耐熱性の高いシリサイドを形成する金属としてＰｔに着目しつつ、仕事関数の観点からＨｆを添加することで、電気特性の改良を行ったものである。【選択図】図２ |
