タッチパネル用透明電極、タッチパネル、表示装置、およびタッチパネル用透明電極の製造方法

摘要

タッチパネル用透明電極は、０．３ｎｍ／秒以上の成膜速度で成膜され、シート抵抗の測定が可能な１２ｎｍ以下の膜厚を有し、銀または銀を主成分とした合金を用いて構成された電極層を備えている。