| 摘要 |
【課題】電子部品の表面状態の情報を高精度に取得することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品搬送装置１０は、電子部品を載置可能で、第１方向に移動可能な搬送部と、第１方向とは異なる第２方向に移動可能で、搬送部に載置された電子部品の表面状態の情報を取得可能な表面状態取得部と、を有する。電子部品検査装置１は、電子部品を載置可能で、第１方向に移動可能な搬送部と、第１方向とは異なる第２方向に移動可能で、搬送部に載置された電子部品の表面状態の情報を取得可能な表面状態取得部と、電子部品を検査する検査部と、を有する。【選択図】図２ |
