| 摘要 |
【課題】寸法安定性および表面品質が高いサブストレート管の費用効率の高い製造のための伸長プロセスを提供する。【解決手段】加熱ゾーン３に、外径Ｃａ、内径Ｃｉであり、内部ボア１３を有する石英ガラスの中空円筒体を連続的に供給し、内部ボア１３内への吹込圧を４００〜１０００Ｐａに調整しつつ、加熱ゾーン３において中空円筒体４をゾーン毎に軟化させて外径Ｔａおよび内径Ｔｉを有する管状ストランド１２を引き取る。ここで、Ｃａ＞１８０ｍｍ、Ｃｒ＞３、Ｔｒ＜１．６、およびＣｉ／Ｔｉ＜２．５が適用可能である（Ｃｒ＝Ｃａ／Ｃｉ、Ｔｒ＝Ｔａ／Ｔｉ）。【選択図】図１ |
