| 摘要 |
【課題】ガイドのガイド取付部材への取付において、部品点数を削減し、取付作業を簡単にできる真空バルブを提供する。【解決手段】真空バルブ１００は、真空容器の内部において固定側電極７に接離自在に配置された可動側電極８と、可動側電極８に一端が固着された可動側電極棒５と、可動側電極棒５の周囲を取り囲むガイド筒部１１と、ガイド筒部１１の一端に設けられ、ガイド筒部１１より大径に形成されたガイド外縁部１２とからなる、可動側電極棒５を案内するガイド１０と、真空容器の可動側端板３と接合され、ガイド１０を外周から保持するガイド取付部材２０とを備え、ガイド１０のガイド外縁部１２に形成され径方向外側に突出した係合突起１２ｃと、ガイド取付部材２０に形成され係合突起１２ｃと係合する係合穴２０ａとを有する。【選択図】図１ |
