| 摘要 |
本発明によれば、単結晶シリコンを異方性に溶解するシリコンエッチング液であって、（１）水酸化カリウムまたは水酸化ナトリウム、（２）ヒドロキシルアミン、および（３）チオ尿素基を有しＮ，Ｎ’を繋いだ下記一般式（Ｉ）で表される環状化合物を含有することを特徴とするシリコンエッチング液及び該シリコンエッチング液を用いたシリコンエッチング方法を提供することができる。【化１】（一般式（Ｉ）中、Ｑは、飽和または不飽和の炭素−炭素結合を有する有機基を表す。）上記シリコンエッチング液を用いると、エッチング液に銅の存在および／または銅イオンが溶解していても、シリコンのエッチング速度を低下させることなく高いエッチング速度を発現し、かつ、エッチング液の安定性が損なわれない。 |
