カセット位置決め装置および半導体処理機器

摘要

カセット位置決め装置および半導体処理機器が提供される。カセット位置決め装置は、位置決めベースプレート（２１）と、回転位置決めプレート（２２）と、支柱（２３）とを含む。位置決めベースプレート（２１）は水平に配置され、昇降装置（３１）に接続される。回転位置決めプレート（２２）は位置決めベースプレート（２１）上に配置され、位置決めベースプレート（２１）の一端に回転可能に接続された一端を有する。位置決め構成要素が、回転位置決めプレート（２２）上に配置される。支柱（２３）は回転位置決めプレート（２２）の下に配置され、位置決めベースプレート（２１）に対して垂直方向に動くことができ、そのため、支柱（２３）が位置決めベースプレート（２１）に対して予め設定された最高位置へと上昇すると、回転位置決めプレート（２１）は支柱（２３）によって押されて、位置決めベースプレート（２１）に対して傾斜した位置へと回転され、支柱（２３）が予め設定された最低位置に位置すると、回転位置決めプレート（２２）は、位置決めベースプレート（２１）上にそれと平行に積み重ねられるようになっている。カセット位置決め装置および半導体処理機器により、カセット（３３）内のすべてのウェーハは水平方向において同一の位置を有することができ、そのため、メカニカルアームによって取出されたウェーハはすべて、メカニカルアーム上の一意的な指定位置に位置するようになっている。