摘要 |
【課題】通常時には、小さなエネルギで放電開始電圧以上の二次電圧(出力電圧)を発生させることができ、二次側開放時には、昇圧トランスの蓄積エネルギを良好に吸収することができる、プラズマリアクタ用電源装置のスナバ回路を提供する。【解決手段】スナバ回路34は、2個のコンデンサ51,52およびツェナーダイオード53を含む構成であり、スイッチング素子42と並列に設けられている。すなわち、2個のコンデンサ51,52が直列に接続され、このコンデンサ51,52の直列回路がスイッチング素子42と並列に接続されている。ツェナーダイオード53は、コンデンサ51と並列に接続されている。【選択図】図2 |