发明名称 |
Verfahren zur Vorbereitung eines ortsaufgelösten Bilddatensatzes für eine nachfolgende Intensitäts-Fouriertransformation |
摘要 |
Zur Vorbereitung eines ortsaufgelösten Bilddatensatzes, bei dem eine Roh-Intensität (I(x)) über mindestens einen zusammenhängenden Messbereich (BMESS) einer Bildfeldkoordinate (x) ermittelt ist, für eine nachfolgende Intensitäts-Fouriertransformation wird folgendermaßen vorgegangen: Zunächst wird ein Manipulationsbereich (BMAN) der Bildfeldkoordinate (x) definiert. Anschließend wird der Bilddatensatz derart manipuliert, dass eine Manipulations-Intensität (M(x)) bei der kleinsten Bildfeldkoordinate (xmin) des Manipulationsbereichs (BMAN) mit der Manipulations-Intensität (M(x)) bei der größten Bildfeldkoordinate (xmax MAN) des Manipulationsbereichs (BMAN) übereinstimmt. Es resultiert ein ortsaufgelöster Bilddatensatz, bei dem unerwünschte numerische Artefakte bei der Intensitäts-Fouriertransformation eliminiert sind. |
申请公布号 |
DE102015213163(A1) |
申请公布日期 |
2017.01.19 |
申请号 |
DE201510213163 |
申请日期 |
2015.07.14 |
申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Matejka, Ulrich;Schnier, Dietmar;Schmidt, Carsten;Längle, Mario |
分类号 |
G06T5/00;G01B11/00;G02B27/50;G03F1/84 |
主分类号 |
G06T5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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