基板握持装置

摘要

本发明提供一种能够可靠地握持基板的基板握持装置。基板握持装置具有：举升多个支柱（2）的升降机构（20）、和分别配置在支柱（2）上的基板保持部（3）及基板引导部件（50）。支柱（2）具有使基板保持部（3）及基板引导部件（50）彼此相对移动的相对移动机构。该相对移动机构在支柱（2）上升时使基板保持部（3）向基板保持部（3）释放基板（W）的周缘部的方向移动，并且使基板引导部件（50）相对于基板保持部（3）上升，在支柱（2）下降时使基板保持部（3）向基板保持部（3）握持基板（W）的周缘部的方向移动，并且使基板引导部件（50）相对于基板保持部（3）下降。

主权项

一种基板握持装置，其特征在于，具有：基台；支承在所述基台上且相对于该基台能够沿上下方向相对移动的多个支柱；用于举升所述支柱的升降机构；和分别配置在所述支柱上的基板保持部及基板引导部件，所述支柱具有使所述基板保持部及所述基板引导部件彼此相对移动的相对移动机构，所述相对移动机构在所述支柱上升时使所述基板保持部向该基板保持部释放所述基板的周缘部的方向移动，并且使所述基板引导部件相对于所述基板保持部上升，所述相对移动机构在所述支柱下降时使所述基板保持部向该基板保持部握持所述基板的周缘部的方向移动，并且使所述基板引导部件相对于所述基板保持部下降。