一种聚焦离子束机台之探针的降震装置及其降震方法

摘要

一种聚焦离子束机台之探针的降震装置，包括：固定支架，所述固定支架环设于探针之外端的外围；弹性元件，所述弹性元件之一端固定设置在所述固定支架上，所述弹性元件之另一端固定设置在所述探针上，且所述弹性元件之间呈120°角。本发明通过在探针之外端的外围环设固定支架，并在所述固定支架内设置弹性元件，所述弹性元件之一端固定设置在所述固定支架上，所述弹性元件之另一端固定设置在所述探针上，且所述弹性元件之间呈120°角，使得所述降震装置可有效的抑制所述弹性元件向任一方向抖动，极大的改善了外部环境对所述聚焦离子束机台之探针带来的震动影响，降低样品抖落的机会，改善了样品制备的效率和工艺产品的循环时间。

主权项

一种聚焦离子束机台之探针的降震装置，其特征在于，所述聚焦离子束机台之探针的降震装置包括：固定支架，所述固定支架环设于探针之外端的外围；弹性元件，所述弹性元件之一端固定设置在所述固定支架上，所述弹性元件之另一端固定设置在所述探针上，且所述弹性元件之间呈120°角。