曝光治具及其工作过程

摘要

本发明提供一种曝光治具，包括：平置底板，开设于底板中心、形状与平置矩形菲林贴合、用于放置平置菲林的矩形放置框，固定于矩形放置框内、与矩形放置框贴合、用于承载平置菲林的平置透光板，用于将平置矩形版模与矩形放置框对位的对位装置，以及用于将版模与菲林压合的压合装置。本发明还提供上述曝光治具的工作过程。本发明方便菲林与版模的对位，且对版模与菲林采用从中部向边沿逐步排气的方式，最终去除版模与菲林间的空气。

主权项

曝光治具，其特征在于，包括：平置的底板，开设于底板中心、形状与平置矩形菲林贴合、用于放置平置矩形菲林的矩形放置框，固定于矩形放置框内、与矩形放置框贴合、用于承载平置矩形菲林的平置透光板，用于将平置矩形版模与矩形放置框对位的对位装置，以及用于将平置矩形版模与平置矩形菲林压合的压合装置；所述透光板的顶面低于底板顶面，且透光板顶面与底板顶面的间距小于平置矩形菲林的厚度；所述对位装置包括：与矩形放置框四个边线一一对应的四个推动机构，以及驱动推动机构工作的驱动机构；单个推动机构位于对应矩形放置框边线的外侧；且每个推动机构都设有：两个相互平行、带外螺纹、用于推动平置矩形版模的平置推动杆，以及一个用于支承推动杆、与推动杆螺纹连接的支座；单个推动机构的两个推动杆都垂直于该单个推动机构所对应的矩形放置框边线；分设于四个推动机构上的各推动杆，它们与对应矩形放置框边线的间距相同；且分设于四个推动机构上的各推动杆，它们的外螺纹相同；所述驱动机构包括：以矩形放置框中心为圆心、用于驱动推动杆沿自身轴线方向伸缩的平置圆环形齿盘，以及驱动圆环形齿盘围绕上述圆心旋转的第一驱动装置；所述圆环形齿盘，其上表面设有用于驱动推动杆绕自身轴线旋转的驱动齿；且该驱动齿与推动杆的外螺纹齿合；所述压合装置包括：位于矩形放置框正上方、用于下压平置矩形版模的若干相互平行的平置压杆，固定于压杆底部、沿压杆长度方向均布、长度相同的若干竖置压头，用于支承压杆的平置下压框，以及用于驱动下压框竖直升降的第二驱动装置；所述压杆垂直于矩形放置框的一边线，且各压杆沿该矩形放置框的边线方向均布；单个压杆，其两端分别与下压框底面固定，其中部下凸于两端。