一种高真空单晶体生长炉试件水冷机械移动装置

摘要

一种高真空单晶体生长炉试件水冷机械移动装置，涉及一种机械装置，主要由减速机，传动丝杠，方螺母，连接座，水冷机架，移动提拉杆和连接法兰等部分所组成。通过连接法兰将其安装在高真空单晶体生长炉上。采用循环水冷却方式对机械移动装置进行散热冷却处理。这套水冷机械移动装置的输出件的下端，深入高真空单晶体生长炉内，将需要热处理的铜试件夹持在这个移动提拉杆的下端头上。按热处理工艺要求控制水冷机械移动装置中移动提拉杆的移动速度，就可实现铜试件从高温的固态相缓慢而均匀的相变到低温固态相，从而获得低温固态相的金属单晶铜。本发明可有效解决高真空单晶体生长炉试件在炉内的移动和热处理状态控制难题。

主权项

一种高真空单晶体生长炉试件水冷机械移动装置，其特征在于，所述移动装置包括伺服电动机（1），减速器（2），键（20），传动丝杠（11），方螺母（10），移动提拉杆（12），底座（4），连接座（5）和水冷机架；水冷机架由上连接法兰（7），支架外方管（8），支架内方管（9），下连接法兰（13），入水口（18）和出水口（19）；所述移动装置采用伺服电动机（1），减速器（2），键（20），传动丝杠（11），方螺母（10）和移动提拉杆（12）组成；传动机由伺服电机（1）和减速器（2）组合而成，减速器（2）通过螺钉（3）与座板（4）连接在一起；两套推力轴承（6）用于传动丝杠（11）的轴向固定；上连接法兰（7）与连接座（5）采用螺栓连接，下连接法兰(13)连接水冷机械移动装置与高真空单晶体生长炉炉体，它的下面和中心孔各制有一个环形凹槽，凹槽放置真空密封圈（14）和真空密封圈（15）；真空密封圈（14）连接整个水冷机械移动装置法兰（13）与高真空单晶体生长炉，真空密封圈（15）连接移动提拉管（12）与下连接法兰（13）之间的密封，移动提拉杆（12）主体是圆形中空结构，其上端开放并制成法兰形与方螺母（10）由螺栓连接成为一体；移动提拉杆（12）的下端封闭，它与下法兰（13）的中心孔呈动配合关系； 方螺母（10）与传动丝杠（11）旋合，形成螺旋传动副。