一种传感器组件及薄片类介质处理装置

摘要

本实用新型提供一种传感器组件及薄片类介质处理装置，该传感器组件包括固定板、盖板和传感器，固定板和盖板固定连接，传感器夹持在固定板和盖板之间。在本实用新型提供的传感器组件中，固定板和盖板均为板状，体积较小；传感器夹持在呈板状的固定板和盖板之间，传感器的两面分别与固定板和盖板接触，没有间隙，因此，传感器组件在垂直于固定板的方向上厚度较小。与现有技术相比，本实用新型中的传感器组件结构紧凑、整体厚度小、占用空间小，能够满足小型化设计要求。

主权项

一种传感器组件，其特征在于，包括固定板、盖板和传感器，所述固定板和所述盖板固定连接，所述传感器夹持在所述固定板和所述盖板之间。