| 摘要 |
기판 상에 형성하는 막의 막질을 향상시킨다. 처리실 내의 기판에 대하여 소정 원소를 포함하는 원료를 공급하는 공정과, 처리실 내로부터 원료를 제거하는 공정과, 처리실 내의 기판에 대하여 질소, 탄소 및 수소를 포함하는 제1 반응체를 공급하는 공정과, 처리실 내로부터 제1 반응체를 제거하는 공정과, 처리실 내의 기판에 대하여 산소를 포함하는 제2 반응체를 공급하는 공정과, 처리실 내로부터 제2 반응체를 제거하는 공정을 비동시로 행하는 사이클을 소정 횟수 행함으로써, 기판 상에 막을 형성하는 공정을 갖고, 원료를 제거하는 공정의 실시 시간을, 제1 반응체를 제거하는 공정의 실시 시간보다도 길게 하거나, 또는, 제2 반응체를 제거하는 공정의 실시 시간을, 제1 반응체를 제거하는 공정의 실시 시간보다도 길게 한다. |
