一种平面薄膜镜安装方法

摘要

一种平面薄膜镜安装方法，首先将圆形薄膜镜展开成平面状态，通过特制的工装在薄膜镜四周均匀牢固地粘接矩形带孔薄垫片，用N根绳两端分别连接矩形垫片和拉力传感器，固定四周拉力传感器使各绳位于同一平面。然后，将精密支撑环放置于薄膜镜的下方，用带有环状台阶面的一侧轻顶薄膜镜，再将压环安装到支撑环上方，通过螺钉预紧压环但要保证薄膜镜能在压环与支撑环之间移动，在薄膜镜四周绳最外端施加拉力，并由拉力传感器显示拉力值，调节拉力值并实时检测薄膜镜面形，根据实测面形反复调节各拉力值使薄膜镜面形达到最优。本发明通过支撑环支撑以及薄膜镜边缘共面拉力调节的方式实现高精度平面薄膜镜的安装，能满足高精度光学系统的使用需求。

主权项

一种平面薄膜镜安装方法，其特征在于步骤如下：1)将薄膜镜(1)放置于第一圆环(5)和第二圆环(6)之间，自下而上放置顺序依次为第一圆环(5)、薄膜镜(1)、第二圆环(6)，保证薄膜镜(1)在第一圆环(5)和第二圆环(6)中间处于平坦状态；所述第一圆环(5)上均布有螺纹孔，第二圆环(6)上对应第一圆环(5)上螺纹孔的位置均布有通孔；在第二圆环(6)外边缘上径向挖有N个宽度大于矩形薄膜垫片(4)的矩形槽(6‑1)，N为大于等于6的正整数；放好后利用螺钉穿过通孔和螺纹孔将第一圆环(5)和第二圆环(6)压紧；2)将矩形薄膜垫片(4)放入矩形槽(6‑1)内，然后用胶将矩形薄膜垫片(4)与薄膜镜(1)边缘粘接；3)待胶完全固化后，在每个矩形薄膜垫片(4)上的圆孔处系一根绳(7)，再将第一圆环(5)和第二圆环(6)分离，取出粘接有矩形薄膜垫片(4)的薄膜镜(1)；4)利用绳(7)将薄膜镜(1)初步拉伸成平坦状态后，固定每根绳(7)的位置；5)将薄膜镜(1)放置在支撑环(2)的第一环状台阶面(2‑1)上；所述支撑环(2)上靠近内径一侧有一圈第一环状台阶面(2‑1)，第一环状台阶面(2‑1)的面形精度RMS<λ/10，λ＝0.632μm；6)将压环(3)放置于支撑环(2)的上方，使压环(3)的第二环状台阶面(3‑1)轻压在薄膜镜(1)上，保证薄膜镜(1)在压环(3)与支撑环(2)之间能够移动；所述压环(3)上靠近内径一侧有一圈第二环状台阶面(3‑1)，且第二环状台阶面(3‑1)位于矩形薄膜垫片(4)内侧，两者不接触；7)在绳(7)另一端连接拉力传感器(8)，在拉力传感器(8)另一端施加拉力，对薄膜镜(1)的面形进行精调；精调过程中通过拉力传感器(8)实时监测拉力的变化，并对拉力进行实时调节，使薄膜镜(1)的面形精度达到预值要求；8)精调结束后，完全压紧压环(3)，然后用螺钉完全固定薄膜镜组件；所述的薄膜镜组件包括薄膜镜(1)、支撑环(2)以及压环(3)；9)拆除薄膜镜(1)四周矩形薄膜垫片(4)，使薄膜镜组件与其它结构分离。