一种气体微流量测量装置

摘要

本发明公开一种气体微流量测量装置，包括入口稳压容器、被测微纳通道或器件、双通道容积指示单元、出口稳压容器和图像式位置记录单元，稳压容器内的压力通过节流阀和供气流量计配合进行连续高分辨率的调节；然后利用双通道容积指示单元的一个通道与入口稳压容器、出口稳压容器建立被测微纳通道或器件内的稳定流动；之后切换到预置液滴的另一个通道，并通过由显微物镜和CCD相机组成的图像位置记录单元跟踪液滴运动，该测量装置具有排气装置具有测量精度和分辨率高且易于实施的优点。

主权项

一种气体微流量测量装置，包括入口稳压系统(1)、被测微纳通道或被测微纳器件(2)、容积指示单元、出口稳压系统(4)、真空抽气系统(13)和图像记录单元(5)，其中入口稳压系统(1)、被测微纳通道或被测微纳器件(2)、容积指示单元和出口稳压系统(4)按顺序依次串联组成封闭系统，其特征在于：所述的容积指示单元为双通道容积指示单元(3)，所述的双通道容积指示单元(3)由双通道并联而成，其中一个通道由导管依次连接第五阀门(21)、第一标定管(22)和第六阀门(23)串联而成，另一通道由导管依次连接第七阀门(27)、第二标定管(25)和第八阀门(24)串联而成，在第一标定管(22)或者第二标定管(25)注入液滴(26)，所述的图像记录单元(5)设置在注入液滴(26)的标定管前，记录跟踪液滴(26)的运动；所述的入口稳压系统包括利用导管按顺序依次连接的第一阀门(8)、入口容器(7)，所述入口容器(7)的一个接口利用导管接出并依次连接第一节流阀(10)、第三阀门(12),所述的入口容器(7)固定连接第一压力传感器(11)和入口容器接口(6)；所述的出口稳压系统(4)包括利用导管按顺序依次连接的第二阀门(18)、出口容器(19)，所述的出口容器(19)的一个接口利用导管接出并依次连接第二节流阀(16)、第四阀门(14)，出口容器(19)固定连接第二压力传感器(15)和出口容器接口(20)；所述的入口稳压系统(1)中的第三阀门(12)和出口稳压系统(4)的第四阀门(14)分别与真空抽气系统(13)相连；所述的入口稳压系统(1)的第一阀门(8)固定连接第一供气流量计(9)；所述的出口稳压系统(4)的第二阀门(18)固定连接第二供气流量计(17)。