一种提高氯化氢转化为氯化镓效率的装置

摘要

一种提高氯化氢转化为氯化镓效率的装置，用于氢化物气相外延生长材料，包括反应器、风车以及盛装容器，反应器内设置有容纳液体镓源的反应室，进气孔以及出气孔，风车安装在反应器内，盛液容器安装在风车上。本实用新型中，利用空气动力学原理，从进气孔进入的含有氯化氢的混合气体，通过液体镓源上方时带动风车及盛装容器做圆周运动，盛装容器运动时将液体镓源舀起，然后液体镓源通过盛装容器撒漏或者渗漏出来，撒漏或者渗漏出来的液体镓源将与混合气体中氯化氢发生反应，加大了氯化氢与镓源的接触面积，提高氯化氢生成氯化镓的转化率，提高了氮化镓单晶生长过程中氯化氢气体利用率。

主权项

一种提高氯化氢转化为氯化镓效率的装置，包括反应器(1)，反应器内设置有容纳液体镓源的反应室，反应器上设置有进气孔(2)和出气孔(3)，其特征在于：还包括风车和盛装容器（5），所述的风车安装在反应器(1)内,盛装容器（5）安装在风车上。