| 摘要 |
전자 빔 리뷰를 위한 결함 샘플을 생성하기 위한 다양한 실시형태가 제공된다. 하나의 방법은, 결함 단위 기반으로, 결함이 검출되었던 웨이퍼의 광학적 검사에 의해 결정되는 결함에 대한 하나 이상의 제1 속성을, 웨이퍼의 광학적 리뷰에 의해 결정되는 결함에 대한 하나 이상의 제2 속성과 결합하여, 결함에 대한 결합된 속성을 생성하는 것을 포함한다. 방법은 또한, 결함에 대한 결합된 속성에 기초하여 결함을 빈으로 분리하는 것을 포함한다. 빈은 상이한 결함 분류에 대응한다. 또한, 방법은, 빈 ― 결함이 이 빈으로 분리되었음 ― 에 기초하여, 전자 빔 리뷰를 위한 결함 중 하나 이상을 샘플링하여, 전자 빔 리뷰를 위한 결함 리뷰 샘플을 생성하는 것을 포함한다. |
