发明名称 电子发射源及其制备方法
摘要 本发明涉及一种电子发射源,包括:一第一电极、一绝缘层以及一第二电极,所述绝缘层层叠设置在所述第一电极和第二电极之间,所述第一电极为所述电子发射源的电子发射端,其中,所述第一电极为一碳纳米管复合结构,该碳纳米管复合结构包括一碳纳米管层及一半导体层复合层叠设置,所述半导体层位于所述碳纳米管层与所述绝缘层之间。本发明还提供一种电子发射源的制备方法。
申请公布号 CN104795300B 申请公布日期 2017.01.18
申请号 CN201410024494.7 申请日期 2014.01.20
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 柳鹏;李德杰;张春海;周段亮;杜秉初;范守善
分类号 H01J29/04(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I 主分类号 H01J29/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种电子发射源,包括:一第一电极、一绝缘层以及一第二电极,所述绝缘层层叠设置在所述第一电极和第二电极之间,所述第一电极为所述电子发射源的电子发射端,其特征在于,所述第一电极为一碳纳米管复合结构,该碳纳米管复合结构包括一碳纳米管层及一半导体层复合层叠设置,所述半导体层位于所述碳纳米管层与所述绝缘层之间,所述碳纳米管层包括多个碳纳米管,该半导体层包覆所述多个碳纳米管的部分表面。
地址 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室