一种F‑theta光学镜头及激光加工系统

摘要

本发明适用于光学领域，提供了一种F‑theta光学镜头，以及一种激光加工系统，所述的光学镜头包括沿入射激光的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜；所述第一透镜为凹凸型负透镜，所述第二透镜为弯月型正透镜，所述第三透镜为弯月型正透镜。通过对光学结构的设计，在对加工激光相差矫正的同时对照明光进行了相差矫正，消除了绝大部分成像像差，照明光配合不同焦距的工业镜头可在加工范围内进行视觉影像定位测量以及监控，所述的F‑theta光学镜头整体结构十分紧凑，加工聚焦光斑小、能量集中。

主权项

一种F‑theta光学镜头，其特征在于，包括沿入射激光的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜；所述第一透镜为凹凸型负透镜，所述第二透镜为弯月型正透镜，所述第三透镜为弯月型正透镜；所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面、第二透镜包括第三曲面和第四曲面、第三透镜包括第五曲面和第六曲面，每个透镜的两个曲面分别是透镜的光入射面和光出射面，第一曲面至第六曲面沿入射光线的传输方向依次排布；所述第一曲面至第六曲面的中间部分均向光线传输方向凸出；所述第一曲面至第六曲面的曲率半径依次为‑44.592mm，‑194.09mm，‑146.9mm，‑61.76mm，‑4000mm，‑131.49mm；各所述曲率半径的公差范围均为±5％。