检测电路

摘要

一种检测电路。藉由振荡器来产生对应微机电系统的等效电容值变化的检测讯号，其中微机电系统的等效电容值随微机电系统的位置不同而变化。

主权项

一种检测电路，适于检测一微机电系统的位置，包括：一振荡器，其输入端耦接至该微机电系统，依据该微机电系统的一等效电容值产生一第一振荡讯号；一锁相回路单元，对该第一振荡讯号进行锁相而输出一锁相控制讯号；一第一低通滤波单元，耦接该锁相回路单元，对该锁相控制讯号进行低通滤波而产生一滤波讯号；以及一放大单元，耦接该第一低通滤波单元，放大该滤波讯号，以产生一检测讯号，其中该振荡器包括：一反相单元，其输入端耦接该微机电系统；一第二低通滤波单元，耦接于该反相单元的输入端与输出端之间；一回授电阻，耦接于该反相单元的输入端与输出端之间；以及一缓冲单元，耦接于该反相单元的输出端与该锁相回路单元之间，缓冲该反相单元输出的电压。