| 摘要 |
【課題】より高速、高密度かつ簡便に金属体の形状検査を実施する。【解決手段】本発明の装置は、金属体に対し少なくとも２つの照明光を照射し反射光を互いに区別して測定する測定装置と、測定結果に基づき金属体の形状検査に用いられる情報を算出する演算処理装置とを備える。測定装置は、ピーク波長の異なる帯状の照明光を夫々照射する複数の照明光源と、金属体の表面の鉛直上方に照射される照明光のピーク波長の個数と同じ数だけ並置され、夫々が有するシフトレンズにより金属体の同一部位を撮像するように設定され、バンドパスフィルタを有する複数のモノクロラインセンサカメラとを有する。複数の照明光源のうち少なくとも２つは、金属体表面の法線方向と第１の照明光源の光軸とがなす角度と法線方向と第２の照明光源の光軸とがなす角度とが略等しくなり、ラインセンサカメラを挟んで金属体と測定装置との相対移動方向に対向するよう配設される。 |
